폐 유기용제 증류 처리 전후의 농도를 각각 측정하여 증류장치의 효율 및 증류된 유기용제의 순도를 파악한다.

수거된 폐 유기용제의 성분분석을 위해서 시료를 채취한다. 가스크로마토그래피(Gas Chromatography)와 수분측정기(Karl Fisher)를 이용하여 함유되어 있는 화합물을 정성·정량 분석하고 수분함량을 측정한다. 폐 유기용액이 산성일 경우 완충용액을 가해서 중성화 혹은 약 알칼리화 시키고 수소이온농도를 측정한다. 최종 정제된 유기용제를 소량 채취하여 분석장비로 정량·정성 분석하고 불순물의 함량을 측정한다. 증류처리전의 농도와 비교하여 증류시설의 효율 및 불순물의 함량을 계산한다.